【行业前瞻】电子真空泵,电子真空泵:高效、可靠的真空设备
电子真空泵:高效、可靠的真空设备 电子真空泵是一种高效、可靠的真空设备,广泛应用于半导体、光电、航空航天、医疗等领域。本文将从工作原理、优点、应用、维护等方面介绍电子真空泵。 1. 工作原理 电子真空泵采用电子束极化离子阱技术,通过电子束极化离子阱的电场作用,将气体分子离子化,然后通过静电场加速器将离子加速到高速,最后撞击在阳极上,产生大量的热量,将气体分子分解成原子或分子,从而实现真空泵的排气功能。 2. 优点 相比于机械泵和扩散泵,电子真空泵具有以下优点: (1)高真空度:电子真空泵可以达